Description
Titre
Interconnexions en cuivre d'architecture damascène : modélisation du polissage mécano-chimique (P.M.C.) et étude du phénomène de formation de cavités dans le cuivre
Auteur
Roussel, Céline (1976-....). Auteur
Contributeur
Danto, Yves (1942-....). Directeur de thèse
Université Bordeaux-I (1971-2013). Organisme de soutenance
Date
2003
Format
148-xxiv p. : ill. ; 30 cm
Notes
Num. national de thèse : 2003BOR12678
Type
texte imprimé
Langue
fre
Sujet
Polissage -- Modèles mathématiques
Rugosité
Circuits intégrés -- Conception assistée par ordinateur
Trous
Contraintes (mécanique)
Rugosité
Circuits intégrés -- Conception assistée par ordinateur
Trous
Contraintes (mécanique)
Droits
Autorisation de reproduction et de diffusion sur Internet accordée à l'Université de Bordeaux par l'auteur le 26 septembre 2023.
Source
PPN 077643518
Localisation de l'ouvrage
Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques. FTA 2678